PI膜石墨化爐

PI膜石墨化爐

參數名稱

用于實驗

用于生產

NTG-SML-150W

NTG-SML-200W

NTG-SML-250W

NTG-SML-350W

NTG-SML-500W

NTG-SML-700W

300*300*600

350*350*800

450*450*900

520*520*1600

600*600*1600

800*800*2000

加熱方式

/

IGBT

高溫區容積

L

54

98

182

432

576

1280

裝載量

g

      高溫區容積*產品密度(g/cm³)*1000        注：1L=1000cm³;

輸入電源

/

三相五線制 380V，50Hz/60Hz

設備構造

/

一臺電源柜控制一個爐體     注：可選一拖二，或者一拖四

爐型結構

/

臥式

中頻電源功率

Kw

150

200

250

350

500

700

中頻電源頻率

Hz

1500

1000

1000

1000

1000

1000

最高使用溫度

℃

3000

3000

3000

2900

2900

2900

常用工作溫度

℃

2800

2800

2800

2800

2800

2800

恒溫區溫差

℃

±5

±5

±10

±10

±15

±15

爐內工作環境

/

真空狀態或Ar、N₂氣氛保護(微正壓）